石英坩堝分為三層,分別為:外層氣泡密集區,中間透明層(理想的是無氣泡的),里層涂層。其中透明層是決定產品質量的關鍵,對此接下來就提高產品透明層質量的方法進行介紹。
一、透明層質量越高,也就是氣泡越少,厚度越均勻,R處的厚度越厚,在拉直單晶中:
1.隔絕了氣泡層的氣泡進入溶硅中。
2.透明層本身不會有氣泡炸裂帶入微小的二氧化硅顆粒。氣泡炸裂進入溶硅直接影響就是單晶鼓掉,其次就是氧含量增加。
二、要提高產品透明層的質量三點:
1.用好的原料,尤尼明的石英砂。
2.真空電弧法生產時的爐內真空度和高純衛生,這點很重要,在好料給你工藝細節不注意也是白搭。
3.生產工藝流程和溫度等,這些就是工藝細節了,比如溫度啊,涼卻時間等等…
我們想要提高石英坩堝透明層的質量,就需要從它的原料、生產工藝以及工藝細節上進行調整,這樣才能達到我們想要的效果,保證產品的使用。